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[공동실험실습관] 첨단 분석 장비 인프라 고도화 수차보정 투과전자현미경·고분해능 집속이온빔 등 4종 도입…반도체·나노·바이오 융합 연구 플랫폼 구축

작성자 홍보실 / [홍보실] 작성일자 2026-03-18 조회 133
부제목 수차보정 투과전자현미경·고분해능 집속이온빔 등 4종 도입…반도체·나노·바이오 융합 연구 플랫폼 구축

'[공동실험실습관] 첨단 분석 장비 인프라 고도화'


공동실험실습관(관장 김종만·미래에너지전공 교수)은 차세대 반도체·나노·바이오 연구를 지원하기 위해 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM, JEM-ARM200F)와 고분해능 집속이온빔(HR-FIB, Helios 5), 고출력·고해상도 X선 회절분석기(HPHR-XRD, SmartLab), 실시간 이미징 자동 스펙트럼 유세포 분리기(FACS, FACSDiscover S8) 등 첨단 분석 장비 4종을 새롭게 도입해 본격 운영에 들어간다.


최근 반도체·이차전지·수소에너지 등 첨단 산업과 바이오 분야에서 초고해상도 미세구조·단일세포 분석 수요가 빠르게 늘고 있다. 이에 공동실험실습관은 기존 장비의 해상도와 분석 범위를 고도화하고, 고난도 분석을 교내에서 자립적으로 수행할 수 있도록 차세대 연구 장비 인프라를 구축했다.


특히, 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM)과 고분해능 집속이온빔(HR-FIB) 시스템은 교육부 지원 및 대학 자체 예산 54억 7,500만 원을 투입해 나노소재·반도체·에너지 소재 등의 미세 구조를 원자 단위로 해석하고, 정밀한 시편 제작을 가능하게 해주는 국내 최고 수준으로 마련됐다.


공동실험실습관은 기존 전자현미경 기반 미세구조·표면·조성 분석 장비를 바탕으로 소재·나노·공학 분야 연구를 지원해 왔으며, 이번 첨단 장비 4종 도입으로 원자 분해능 구조 분석부터 단일세포 기반 정밀 분리·분석까지 아우르는 융합 연구 플랫폼으로서의 인프라를 한층 강화했다. 이를 통해 대형 국책과제와 산학협력 연구 확대, 부산대의 국제적 연구 경쟁력 제고에 기여할 것으로 기대된다.


* 신규 구축된 장비 활용 분야

1) 수차보정 투과전자현미경(Cs-TEM, JEM-ARM200F): 수차보정 기술이 적용된 원자 분해능 투과전자현미경으로, 원자 배열 관찰 및 원소 분석이 가능해 차세대 반도체·에너지 소재 연구에 핵심적인 역할을 수행
- 설치 장소: 공동실험실습관 B104호, Cs-TEM실
- 분석 문의: 문금옥 연구원(내선 3411, E-mail: moonko@pusan.ac.kr)
이진현 연구원(내선 3422, E-mail: my32101@pusan.ac.kr)


2) 고분해능 집속이온빔(HR-FIB, Helios 5): 집속이온빔 기반의 정밀 미세가공 및 단면 제작 시스템으로, TEM 시편 제작과 3차원 구조 분석 지원
- 설치 장소: 공동실험실습관 201호, HR-FIB실
- 분석 문의: 고민정 연구원(내선 3077, E-mail: gominjeong@pusan.ac.kr)


3) 고출력·고해상도 X선 회절분석기(HPHR-XRD, SmartLab): 고출력 X선 광원과 정밀 광학계를 기반으로 박막, 나노구조, 단결정·다결정 소재의 결정 구조를 정밀 고해상도로 분석
- 설치 장소: 공동실험실습관 304호
- 분석 문의: 정은화 연구원(내선 3039, E-mail: jeh1624@pusan.ac.kr)


4) 실시간 이미징 자동 스펙트럼 유세포 분리기(FACS, FACSDiscover S8): 실시간 세포 이미징과 스펙트럼 기반 다중 형광 분석이 가능한 차세대 유세포 분석·분리 시스템으로, 세포 형태와 분자 발현 정보를 동시 분석 및 확보
- 설치 장소: 공동실험실습관 양산분관 첨단의생명융합센터(ABC센터) 307호
- 분석 문의: 김지현 연구원(내선 8089, E-mail: kimji77@pusan.ac.kr)


* 사진: 공동실험실습관 신규 도입 장비 4종.