소개

1.설립목적
부산지역특화사업인 자동차, 조선, Bio/의료, 환경에너지 관련 초소형 기계 및 부품산업 인프라구축
및 기술파급과 부품·소재기술개발 전문기업의 설립기반 구축, 벤처기업(Office Factory) 창업 및 전문
인력을 양성하여 국제경쟁력을 확보하고자 한다. 또한 고부가가치 MEMS 기술개발로 신제품개발과
시장 및 고용창출로 지역경제 활성화에 기여하고자 한다.

2.연혁

2002. 06 센터설립인가(부산대학교)
06 초대 소장 김경천 교수 취임
08 부산대학교초소형기계 및 부품기술혁신센터 개소
2003. 01 크린룸 공사 착공
03 학과간(미세기계전자시스템) 협동과정 신설(대학원 석·박사과정)
06 크린룸 공사 완료
12 22종 공정/측정장비 입고완료
2004. 06 제2대 소장 김경천 교수 취임
06 산업자원부 지역산업진흥사업 중 “MEMS/NANO 기술지원센터” 주관기관 선정

3.임원 및 연구원

1) 소 장 : 김경천(기계공학부)
2) 연구기획부장 : 이재근(기계공학부)
3) 대외협력부장 : 고종수(기계공학부)
4) 운 영 위 원 : 정해도(기계공학부)
하만영(기계공학부)
이득우(정밀정형 및 금형가공연구소)
고정상(기계공학부)
황상문(기계공학부)
이민철(기계공학부)
이 석(기계공학부)
이동근(기계공학부)
신보성(정밀정형 및 금형가공연구소)
이제원(인제대학교)
전종업(울산대학교)
박상봉(동의공업대학교)
정귀상(동서대학교)
박준협(동명정보대학교)
제우성(동명정보대학교)
김갑영(부산시 경제진흥국 공업기술과장)
조계열(부산시 경제진흥국 공업기술과 계장)
정성봉(부산시 경제진흥국 공업기술과 주무)

4.연구 활동

1. Mocro-sensor에 관한 연구
- 메크로 스케일 센서류를 마이크로 센서로 대체
- 압력센서, 힘센서, 온도센서, 습도센서, 가스센서, 유속센서 등의 비구동성 센서 개발
- 특히 자동차용 센서개발
- 에어백 충돌 감지 및 shock absorber용 가속도 센서, 엔진제어 및 브레이크 압력제어
용 압력센서
- 공조용 온도 및 습도센서, 산소 및 각종 배기가스 센서, 경사 센서 등

2. BioMEMS에 관한 연구
- 초소형 의료기구의 부품 또는 완제품을 구현
- 의료관련기술(Bio-Medical)과 유전공학기술(Bio-Chip) 중에서 약품 투여 기술과 단백
질 칩 관련 소자개발

3. RF(Radio Frequency) MEMS에 관한 연구
- 필터, 인덕터, 스위치, 커패시터, 공진기, 안테나 등의 수동소자와 FET 등의 능동소자
의 한 기판상에 구현
- 낮은 삽입손실과 높은 isolation 특성, 고효율, 저가격, 저전력, 좋은 고주파특성 및 소
형화, 경량화, 저가격화, 고기능화의 장점

4. Power MEMS
- 초소형 동력소자
- 마이트로 연료 점화 장치를 포함한 마이크로 엔진 등의 개발

5. 나노스케일의 물질, 에너지전달 공정 및 장비개발
- 양자역학과 분자동역학적 해석기법을 응용, 열 및 물질전달의 해석모델을 확립 시뮬레
이션
- 열 및 물질전달과 과련된 나노 입자 및 구조의 제작
- 나노스케일의 전달해석을 검증하기 위한 실험 및 구조물의 성능시험기술 개발

6. 기능성 폴리머를 이용한 MEMS 기술개발
- 마이크로 액츄에이터용 전기왜곡성 / 압전성 폴리머 개발
- 기능성 폴리머를 이용한 마이크로플루이딕스 요소개발
- 전왜 폴리머를 이용한 마이크로 모터 및 마이크로 오실레이터의 개발

7. 초소형 초정밀 디프 드로잉 성형 기술
- 0.1mm이하 극박판 성형 기술
- 미세 피어싱, 정밀 벌징 성형

8. 웨이스트리스 고무 제품 성형 기술
- 버 프리(burr free) 고무 제품 성형
- 정밀 밀착 성형 및 해석 기술

9. 극소형 프로그레시브 금형 제작 기술
- IT 기반 극소형 초정밀 금형 기술 개발
- 재료 및 해석 기술 개발

10. Piezo 액츄에이터에 대한 연구
- stick-skip이 없으며 강성이 크며 응답이 빠른 장점
- Piezo에 대한 정밀한 고주파의 제어 입력이 가능한 제어기를 병행개발

11. Micro-Fludics 전산해석 기술연구
- 브라운 힘의 효과에 대한 상세한 규명이 필요
- 미소 유체 소자 유동에 대한 전산해석, 이론을 도출, 계측 방법의 신뢰도 증가

12. 마이크로 스피커 전용 해석 TOOL 개발
- coupling 효과 고려로 인한 복잡하고 장기간의 해석과정을 프로그램화하여 효율적
개발수행, 개발기간 단축
- 최적설계에 의한 특성향상
- 실험을 통한 해석 방법의 타당성 검증

13. Mobile Phone용 HiFi-Stereo Module 부품 개발
- 전기, 자기, 기계, 음향계의 연성 특성을 고려한 이론 정립
- 3D-FEM을 통한 비선형 해석
- TV수신, 게임, 영화감상, MP3, FM라디오에 적용


센터위치 : 산학협동관 205호

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